超高圧UVランプにおける環境技術『フル／ハーフ点灯方式』を実用化

摘要

ウシオ電機（株）は、超高圧∪∨ランプにおける環境技術『フル／ハーフ点灯方式』の実用化に成功した。超高圧∪∨ランプは主に半導体や液晶、プリント基板などのリソグラフイ（回路パターン焼き付け）用光源として、各種の露光装置に搭載されている。これらの業界では、環境負荷の低減が重要な経営課題となっており、そのニーズに対応するため、ランプメーカー各社でランプの環境性能向上に向けた省電力化とCO2排出量低減化の試みが行なわれてきたが、その構造の特殊性にカロえ、照度や輝度、寿命などの性能維持の観点から、ワーク照射が不要な待機時でも、絶えず100％の電気入力を保たなければならず、その改良はきわめて困難な状況だった。