『第62回 応用物理学会秋季学術講演会』レポートその⑤ 微細化CMOS LSI

摘要

これまで春季応用物理学会のレポートを連載していたが、さる9月17日～20日に北海道大学で秋季学会が開かれたので、今回はその報告である。LSIのデバイス関係については先月、報告したので、今回はプロセス関係を取り上げる。なお、春の学会は拙宅の近くで開催されたため参加したが、今回は出席していない。出席していないのに報告書を書くのはけしからん、と言われそうだが、この学会は発表件数が3000件近くあり、同時に30会場で発表されるため、そもそも出席しても1/30しか聞けないのである。このため、予稿集がCD-ROMになっており、1テーマ1ページにぎっしり書がれているので、発表内容はほとんど確認することができる。申し込めば事前審査なしで発表できるので、玉石混交という感じだが、ー見してレベルが低いと思われる発表であっても実用的に役に立つ研究があるなど、目を通しておくと面白い発見がある。