トレンドを探る低温?高温条件下における基板及び部品の反りのリアルタイム計測

摘要

本稿では、プロジェクション?モアレ式反り?変形測定装置を用いて、-50℃までの低温側及び通常なリフロー温度条件下で基板と部品の反り状況をリアルタイムで計測することを試みた。測定動作の掛かる時間とレンズの切り替え?移動時間などを考慮した上で、多サンプル?多視野でのリアルタイム計測は可能であることが分かった。この特徴を生かすことで、高低差が大きく形状が複雑な大型のサンプルでも全体または局所の表面形状?変形の計測が可能である。当社では、該装置を利用した各種の受託試験を実施しながら、特殊サンプルに適した治具?試験手段の開発及びサンプルの変位から応力集中の状況を量的に評価することを研究している。