超高圧用圧力調整器とコンパクト型層流素子式ガス混合装置

摘要

メインの圧力調整器は、最大入口圧力100MPa対応の超高圧用圧力調整器「HPR2シリーズ」及び「HPR4シリーズ」と、最大入口圧力30MPa対応の「HBR2シリーズ」。「HPRシリーズ」はオートリリーフ式安全弁付、高圧用各種継手の選択が可能である。