SiH2Cl2ジタロロシラン横這いで推移

摘要

ジクロロシラン（SiH2Cl2）の13年国内需要量は166tと横ばいで推移したと見られる。12年は166．1t、3．9％減少と2年連続マイナスとなったが、他の特殊材料ガスに比べれば減少幅は小さい。