エッチングラインにプラズマ式の採用が進む

摘要

国内向け排ガス処理装置販 売事業（除害剤交換·メンテナンス含む） の16年度市場規 模は前年度比8.3％滅の165億円とみられる。近年は大手半導体及び液晶メーカーの設備投資による影響を受けやすい市場となっている。