BCl3三塩化ホウ素中小型液晶好調で需要量増

摘要

2017年三塩化ホウ素需要量は前年比2．7％増の150tで推移したもようである。同ガスは中小型モバイルディスプレイ向けアルミ配線ドライエッチングや半導体向け不純物拡散等に使われる。13年は102tまで大きく落ち込んだが、スマートフォン液晶向けが好調で14年以降微増を続けている。