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机译:用于MEMS压力传感的四端子方形压阻传感器
Eastern Washington Univ Dept Engn &
Design Cheney WA 99004 USA;
Wright State Univ Dept Mech &
Mat Engn Dayton OH 45435 USA;
机译:用于MEMS压力传感的四端子方形压阻传感器
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机译:用于MEMS压力感测的四端子方形压阻传感器
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