机译:通过双面金刚石膜沉积制造低应力GaN型金刚石结构
Univ Sci &
Technol Beijing Beijing 100083 Peoples R China;
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Nanjing Elect Devices Inst Nanjing 210016 Peoples R China;
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机译:使用脉冲激光沉积(PLD)制作无分层的低应力类金刚石碳(dlc)膜
机译:低温,低压和晶种对通过ECR辅助化学气相沉积法生长的金刚石膜的结晶质量,产率和应力的影响
机译:厚,低应力金刚石状碳膜的空心 - 阴极化学气相沉积
机译:通过双射频等离子体增强化学气相沉积的基于INP的光电器件制造的低残余应力和SINX薄膜的高可重复性
机译:金刚石薄膜在电推进中的应用:低能量溅射产率测量和MPD等离子体辅助化学气相沉积。
机译:环境气体和压力在脉冲激光沉积合成硬质类金刚石碳膜的结构中的作用
机译:在化学气相沉积中通过两步滴电源工艺沉积在不锈钢上的低应力金刚石薄膜
机译:用于光学涂层的金刚石薄膜的低温沉积。