Влияние источника питания и индуктивно-емкостного устройства на процесс осаждения никеля

摘要

Изучено влияние вида источника питания и параметров индуктивно-емкостного устройства (индуктивности и емкости) на кинетику осаждения никеля, спектр переменных составляющих тока и морфологию роста покрытий. Показано, что вид источника питания и условия настройки устройства существенно влияли на процесс осаждения никеля и его структуру.