Параметрические структурные схемы многослойного пьезоактюатора нано- и микроперемещений при поперечном пьезоэффекте

摘要

Применение прецизионного пъезопривода нано- и микроперемещений перспективно в оборудовании нанотехнологии, нанобиологии, микроэлектроники и астрономии. Пьезокерамический актюатор (пьезоактюатор) или пъезодвигателъ такого пъезопривода работает на основе обратного пъезоэффекта. Перемещение достигается за счет деформации пьезоактюатора в диапазоне от единиц нанометров до десятков микрометров с точностью до десятых долей нанометров при приложении электрического напряжения. Диапазон перемещения пъезопривода до сотен микрометров увеличивается при использовании многослойного (составного) пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте. Полученные в статье структурно-параметрическая модель, параметрические структурные схемы и передаточные функции многослойного пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте позволяют описывать его динамические и статические свойства с учетом физических параметров, внешней нагрузки и электрического сопротивления согласующих цепей.