Очистка порошка нитрида алюминия при термической обработке в водороде

摘要

Проведено термодинамическое моделирование процесса термической обработки порошка AlN в среде водорода. По результатам моделирования, обработка AlN, содержащего примеси O, C, S, Si, Fe и Ti, в среде водорода при давлении 0,2 МПа и температурах 1200-7500 К должна приводить к очистке нитрида от S, Si и С. Рекомендовано проводить обработку при температуре не низке 1300 К.