АДАПТИВНЫЙ АЛГОРИТМ УПРАВЛЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ С ПОДСТРОЙКОЙ ПАРАМЕТРОВ МОДЕЛИ

摘要

Описан алгоритм управления технологическим процессом производства интегральных схем на основе модели адаптивного управления с подстройкой параметров модели. Применение настоящего алгоритма позволит учесть влияние неконтролируемых параметров процесса иулучшитъ качество производимых интегральных схем.