ИДЕОЛОГИЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ОБОРУДОВАНИЯ СОВРЕМЕННЫХ ВАКУУМНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

摘要

Рассмотрена идеология проектирования автоматизированного вакуумного оборудования с использованием принципа управляемой упругой деформации, при которой эффект функционирования внутрикамерных систем создаётся в результате внутреннего трения, что полностью исключает наличие трения движения как источников привносимой дефектности. Такой подход обеспечивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий.