電動スライダ「EZlimo」クリーンルーム対応の紹介

摘要

クリーン環境を要求する半導体などの製造装置には、ワークの搬送、検査、加工といった工程で多くの電動アクチュエータが使われている。 クリーン環境下においては、ウェハといったワークの近くで使われる電動アクチュエータから出る粉塵（アウトダスト）をいかに影響を与えないかが、製造装置の設計ノウハウとなり重要なポイントとなる。 今回、紹介する電動スライダEZlimoクリーンルーム対応は、2004年12月より発売を開始したもので、外部に粉塵を出さない構造を取ることにより、クリーンルーム内で使える仕様になっている。 その概略と発塵測定による実力値を紹介する。