HDD製造を支える周辺技術の最新動向：粒子モニタリングシステム

摘要

工業分野特に半導体、液晶、HDDなどのナノテクノロジーを中心とする精密工業分野において粒子管理は製品の品質管理上大変重要な項目のひとつである。 製造現場において、それぞれの場面で管理対象となる粒子の大きさやその数は異なる。 また、その目的に応じて使用する計測器や測定方法が異なってくる。 ここでは気体中や液体中に浮遊する粒子を計測するいわゆるパーティクルカウンタを用いて行なう場合の粒子管理について、事例を挙げながら概説する。