パーティクル計測技術：パーティクル計測技術の動向

摘要

我が国における先端産業である半導体·液晶などのエレクトロニクス、精密工業、バイオテクノロジーなどの基盤技術として、クリーンルームに代表されるクリーン化技術の役割は大きい。 一般に空気には窒素、酸素、水分のほか、微量のガス状·分子状物質、粒子状物質、浮遊微生物などが含まれるが、クリーンルームは、本来、空気中の粒子状物質即ちパーティクルを制御するシステムとして開発され、超高性能フィルタによる空気中の粒子除去と清浄気流により発生した汚染物質の除去を目的としている。 現在では、粒子状の汚染物質に加え、ガス状·分子状の汚染物質など制御が行われているが、依然として、パーティクル汚染は、重要であり、その計測技術も当然ながら重要な課題である。 パーティクルの汚染制御のためには、発生源の対策、輸送過程の対策、表面汚染の対策、除去対策などがあり、計測技術としては、気中（空気·ガス）及び液中（純水·薬液）に含まれる粒子とウェーハ基盤などの表面上にある粒子の計測が基本となり、濃度（個数·質量）と粒径の計測が中心であるが、粒子の形状·組成の計測が必要な場合もある。本報告においては、空気中と表面における粒子の計測法を中心にその概要を述べる。