半導体製造装置への静電気放電(ESD)と静電吸着(ESA)による影響評価と制御のためのSEMIガイドE78

摘要

SEMIスタンダードE78は、半導体製造工程での静電気の電荷発生と蓄積を許容レベル以下に抑制するために、ユーザーと製造装置メーカーとの間をつなくガイダンスとなり、半導体製造工程での静電気現象への共通の理解と、適切な測定方法により有効な静電気対策を用意していただくものです。