高清浄度クリーンルーム用ピニル床シートど無溶剤形接着剤

摘要

半導体デバイスや液晶パネル用の高清浄度クリーンルームで使用されている内装仕上げ材には、製品の歩留りを向上させるための様々な機能が要求されている。 特に近年ではLSIや液晶パネルの高性能化が進みクリーンルームの設計技術が向上したことで、内装仕上げ材にも塵埃防止ヤアウトガス削減に対する高い性能が要求されるようになってきている。 当社ではこうしたニーズに対応し、帯電防止性ヤアウトガス特性に優れる特殊機能性内装材を開発して高い評価を得てきた。本稿では、高清浄度クリーンルームで使用される機能性ビニル床シート「ロンクリーンリウム」と無溶剤形接着剤「ロンセメントエコU」について紹介する。