剥離帯電防止コーティングFPDの大型化に伴う製造装置、特にバキュームチャック類の剥離帯電防止

摘要

2003年ファインテック·ジャパンにて、アドバンテックディスプレイオブザイヤー（以下、A．D．Y）製造部門にて優秀賞を受賞した剥離帯電防止コーティングNFー685Bについてご紹介をしたい。 ここで剥離帯電とは、例えば密着していたシート状の物体が剥がれる時に帯電する現象である。 液晶·カラーフィルター等のフラットパネルディスプレー（F．P．D）関連の製造工程においては、ガラス基板固定のために多種多様なバキュームステージ、チャック、プレートが使用されている。 これらのステージは、ガラス基板保持のため負圧（バキューム）を利用し、運用され、効果を上げている。しかし、負圧によりガラス基板とステージが密着した後、負圧を切りガラス基板を剥離させるときに、静電気が帯電するという問題が発生する。 この現象が剥離帯電の一種である。