半導体工場における省エネルギー対策：省エネルギー対策の現状と今後

摘要

半導体工場の省エネルギー対策としての工場ファシリティ部分は他の産業と比較しても、最先端技術を駆使した先駆的なものである。 半導体工場のエネルギー使用は大別するとファシリティ設備用エネルギーと生産設備用のエネルギーである。 図1に示すように、生産設備動力が約40％近くを占め、ファシリティ設備動力（一般動力）は残りの約60％である。 また、エネルギー種別では電気が殆hどを占めており、他に蒸気等発生用の燃料等がある。