防塵壁紙 ケミカルフリークロス：脱ガス·ケミカル汚染対策 帯電防止10{sup}9Ω

摘要

半導体、超精密機械に代表される工業技術の進歩はめざましく、益々高度化の一途をたどっている。 半導体や液晶の集積度の増大·微細化が進むに従い、256Mbitや1Gbit対応の半導体工場クリーンルームにおいては、塵埃などのパーティクル汚染に加え、ガス状のケミカル汚染物質が新たな問題となっている。 ガス状汚染物質の発生源は、「外気·作業者·クリーンルーム構成材·生産装置」など多岐にわたるが、最近では構成材料から発生する揮発成分（脱ガス）がウェハ上に付着し、デバイス、プロセス特性に悪影響を及ぼすことが指摘されている。 これからのグリーンルームでは、デバイストラブルの原因となるケミカル汚染をできるだけ発生しない材料を選択することが非常に重要である。