半導体製造装置分野におけるフッ素樹脂コーティング：フッ素樹脂コーティングのマイナスイメージ

摘要

この2年ほど、半導体製造装置に携わっておられる人々とお話をする機会に多く恵まれている。 人々の多くは、装置への要求特性の向上に対応するために、新たにフッ素樹脂コーティングを導入しようと検討を進められている。 また、他の人々は、従来からフッ素樹脂コーティングを使用しているが、より高い目標をクリアするために、より高度なコーティングを検討されている。 反面、フッ素樹脂コーティングに否定的な人達が少なからず存在することも事実である。 そして、この理由はコーティングの使用経験がなく不安を持っているがための考えであることは少なく、過去にコーティングを使用した上で、失敗をした痛い経験に基づいていることが多い。