HEPAフィルタリーク試験効率化装置：クリーンブースリーク試験のプローブ走査を自動化EZ-Scan

摘要

“EZ-Scan”により、クリーンブースにおけるHEPAフィルタリーク試験の自動化、測定時間短縮、ブース汚染防止、生産機器やフィルタ破損リスクの低減が可能になり、定期バリデーションの効率化、低コスト化が図れることを紹介した。なお、当社では2013年3月に完成した技術研究所·新研究棟内にEZ-Scan の実機を展示しており、デモンストレーションを見学することが可能である（写真1）。