クリーンルーム専用自動床面洗浄機「SE-430HP」：HEPAフィルタ搭載の洗浄機でクラス1000に対応

摘要

クリーンルームでは常に高い清浄度が求められているため、清掃作業はHEPAフィルタやULPAフィルタを搭載した真空掃除機で荒ゴミを回収し、クリーンルーム用のワイパー（除塵クロス）でふき取り作業を行っており、強度の汚れには汚水飛散防止用カバーをつけたポリッシヤーを使っているケースが見受けられる。ポリッシャーでの洗浄作業はある程度の熟練された操作技術が要求されるため、当社では誰でも簡単に床面洗浄ができる自動床面洗浄機をクリーンルーム対応型に設計·開発した次第である。クリーンルーム仕様の「SE-430 HP」はクラス1000に対応する（1フィート立方中（28.8L）に0.5μm以上の微粒子が1,000個以下の清浄度を確保）。