監視制御システムの停電·瞬低対策について：半導体工場の監視制御システムとその停電·瞬低対策について

摘要

半導体工場では、半導体デバイスの製造のため、空調、熱源、用役、特殊材料ガス、薬液、生産装置等多くの設備が24 時間稼動している。このため、予期せぬ停電、瞬時電圧低下（以降、瞬低とする）が発生すると工場の生産に大きな影響を与え、工場停止、不良製品発生等の被害が発生する。 特に生産装置は精密機器であるため、停電よる影響を受けやすい。 しかし、このような停電、瞬低対策を工場全体に施すためにはイニシャル、ランニング共、膨大な費用が発生し、投資が難しくなる。 このため、重要設備を選定し対策を施すことが一般的である。 表1に一般的な対策状況を示す。 上記以外にも、工場の運用管理体制上、監視カメラ、防犯設備等が対策対象となる場合もある。