超純水のTOC測定方法と精度：TOC測定装置と簡易TOCモニタとの比較

摘要

超純水の水質管理には従来から比抵抗値が広く用いられているが、比抵抗値では無機イオン量の管理のみしかできないため、近年では有機物濃度の管理が並行して行われている。超純水中の有機不純物は全有機体炭素(TOC: Total Organic Carbon)で管理されるが、超純水装置におけるその測定方法は様々である。一方、平成21年4月1日に水質基準に関する省令の一部を改正する省令（平成20年12月22日厚生労働省令第174号）が施行され、「有機物（全有機炭素(TOC)の量）」に係る水質基準は5mg/L以下から3mg/L以下に強化された。この「有機物（全有機炭素（TOCの量）」の測定方法は「水質基準に関する省令の規定に基づき厚生労働大臣が定める方法（平成15年7月22日厚生労働省告示第261号）」で定められており、測定の際の精製水は「イオン交換法、逆浸透膜法、蒸留法又は紫外線照射法の組合せによって精製したもので、全有機炭素濃度が0.1mg/L以下のもの又は同等以上の品質を有するもの」とされている。すなわち、水質分析を実施する際に、測定用水のTOC管理が求められている。また、日本薬局方も2011年に改正が予定されており精製水の水質管理項目にTOCが導入される予定となっており、TOC管理の重要性がますます高まっている。そこで、本報では超純水装置でのTOC測定方法とその精度について述べる。