冷凍機冷却水による加熱の省エネルギー効果：廃熱回収システムにおける省エネルギー検証

摘要

当クリーンルーム新棟は、300mmウェハ工場であり、既存棟の200mmウェハ工場に比較し、クリーンルーム環境及びユーティリティ供給設備も大容量化が見込まれたが、建設関係者·製造側担当者との打合せや、社内ワーキンググループでの会議により環境改善に対し、大きな削減効果をもたらす検討を実施し、現実的な形へ実現できた。 なかでも廃熱回収によるボイラーレス化の効果が大きく、以下にその実測効果を紹介する。