銅をベースにしたセミアディティブ工法に対応した高選択性剤：セミアディティブ工法用ニッケルエッチング剤にツケルペース）

摘要

配線パターンの微細化の進展に伴って、銅をベースとしたセミアディティブ工法の適用が主流となりつつある昨今であるが、パターンとして残したい金属とエッチングにより除去したい金属が同じであるため、さらに細線化が進hだ場合ごくわずかのパターン食われも無視できなくなる。 そこで当社は次世代の細線パターン形成方法としてニッケルをベースとした図1に示すようなセミアディティブ工法を提案し、当該工法に不可欠である高選択性ニッケルエッチング剤「メックリムーバーNH-1862」を紹介する。