［依頼講演］SOI 技術を用いた量子イメージング検出器の開発－半導体で素粒子·X 線を見る

摘要

X 線、荷電粒子等の量子イメージングを行う為の検出器を、Silicon-on-Insulator（SOI）技術を元に開発を行っている。放射線センサと CMOS 読出し回路を一体化したデバイスを実現し、様々な性能向上を行なった。