Приведены основные особенности получения алюминиевых и бериллиевых холодных катодов для гелий-неоновых газоразрядных лазеров и их поведения при воздействии ускоренных положительных газовых ионов. Предварительное упрочнение алюминиевой подложки обкатыванием стальными шариками обеспечило высокую устойчивость сформированной на ней структуры Al - Al_2O_3 к катодному распылению. Формирование тонкопленочных бериллиевых наноструктур Al - Be - BeO на полированных поверхностях на основе SiO_2 позволило повысить долговечность He - Ne датчиков до значений, превышающих 3X10~4 часов, в условиях аномального тлеющего разряда.
展开▼