Получение тонких пленок силицидов тугоплавких металлов распылением литых композитных мишеней

摘要

Показана возможность изготовления литых мишеней из силицидов тугоплавких металлов с помощью методов вакуумной металлургии. В качестве примера представлены результаты исследования получения мишеней и тонких пленок дисилицидов вольфрама и молибдена. Распыление производили с помощью лазерного испарения и магнетронного распыления мишеней из дисилицидов, полученных методом высокочастотной бестигельной левитации и электроннолучевой зонной плавки в вакууме. Изучены условия обоих видов распыления, обеспечивающие нанесение дисилицидных пленок с относительно низким удельным электросопротивлением. Структура тонких пленок исследована методами рентгеноструктурного анализа и оже-электронной спектроскопии.