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钽舟真空蒸发制备高纯金属、合金和硅化物薄膜及其在大规模集成电路中的应用

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《应用科学学报》|1989年第1期|47-51|共5页
作者
张一平; 徐元森;
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作者单位

无;

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正文语种 chi
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关键词
入库时间 2023-07-25 19:58:38

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