Магнитные свойства тонких пленок никеля, полученных магнетронным распылением на постоянном токе

摘要

Методами ферромагнитного резонанса, атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифракции исследована зависимость магнитных свойств пленок никеля на подложках GaAs(100) и Si(111), полученных магнетронным распылением на постоянном токе, от места расположения подложки относительно оси системы. Показана возможность управления текстурой пленок Ni/Si(111) изменением потенциала подложки во время напыления.