Хромато-масс-спектрометрическое исследование примесного состава силана, обогащенного изотопом ~(30)Si

摘要

Впервые с использованием метода хромато-масс-спектрометрии проведено исследование примесного состава силана, обогащенного изотопом кремния ~(30)Si до 99,944 ± 0,010 %. Для разделения примесей использовали капиллярную адсорбционную колонку 25 м х 0,26 мм, d_f=- 0,25 мкм с сорбентом политриметилсилилпропином. Показано, что ее применение позволяет достичь высокого разрешения при идентификации примесей. Распознование примесей осуществляли сравнением их масс-спектров с данными библиотеки NIST, а также с литературными данными. Идентифицировано 24 примесных вещества: углеводороды С_3 - С_9, алкилсиланы, гомологи силана, дисилоксан, фторсилоксаны. Установлено, что кремнийсодер-жащие примеси, как и основной компонент, являются изотопнообогащенными. Впервые получены масс-спектры примесей Si_2H_6, Si_3H_8, n-Si_4H_(10), i-Si__4H_(10), Si__2H_6O, Si__2H_5FO, Si__2H_4F_2O, Si__3H_7FO_2, SiH_3CH_3, SiH_3C_2H_5, (SiH_3)_2, SiH_2(C_2H_5)_2, обогащенных изотопом кремния ~(30)Si.