EMCと磁気応用II--光ファイバ端磁気光学プローブの高性能化とその微細領域磁界/電流分布計測への適用

摘要

本稿では,FEMOプローブの基本性能と適用例に関する最近の成果を紹介した。 微細，複雑な電子回路の最適設計に反映しうるプローブの実現を目標に研究開発を進めているが,本稿における紹介事例によりFEMOプローブがこの目標に対して十分な潜在能力を有することが示されたと考える。 しかしながら，冒頭で述べたレベルの高空間分解能性，広帯域性,高感度性を併せ持っプローブの実現には，いくつかの課題の解決を必要とする。 その一つは，高空間分解能と高感度の両立である。 MO結晶中の有感度体積の減少は，高空間分解能化を実現させると同時に低感度化をもたらす。 また，感度と計測帯域の関係についても両者はトレードオフの関係にあるため，高感度，広帯域の両立に向けた技術開発が必要である。 これらの課題の解決に向けた技術の一つに本稿で紹介した光学系最適化技術があるが，MO結晶の物性最適化を可能とする技術が登場すれば，プローブ性能の飛躍的な進展が期待される。 また，現在のFEMOブロービング技術ほ周波数軸での計測を対象としているが，時間軸計測も可能になれば，より回路設計に反映できる情報が獲得できると考えている。 今後は,時間軸計測用FEMOプローブの開発も行う予定である。