КРЕМНИЕВЫЙ ПЬЕЗОРЕЗИСТОРНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ БОЛЬШИХ УСКОРЕНИЙ С ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЙ СИСТЕМОЙ САМОКОНТРОЛЯ

摘要

В прошедшие годы кремниевые акселерометры в основном изготавливались по объемной микромашинной технологии с применением операций анизотропного травления и с использованием многокристальных структур, изготавливаемых по методу термокомпрессионной сварки. При этом элементы акселерометра выполнялись в едином процессе с применением планарной технологии. В ряде многокристальных конструкций этих приборов с целью обеспечения их предохранения от перегрузок и функций самоконтроля на основе применения емкостных чувствительных элементов в первичных инерционных преобразователях балочного типа использовались боковые стенки, перпендикулярные основным рабочим поверхностям исходного кремниевого чипа.