Структура, морфология и физико-механические свойства нано- и микроструктурных покрытий из Аl_2O_3 и ZrO_2

摘要

Методами АСМ, измерения нанотвердости, модуля упругости, сил когезии и коэффициента трения исследованы оксидные покрытия из Аl_2O_3 и ZrO_2, полученные с помощью магнетронного распыления мишеней из А1 и 2г соответственно. Обнаружено увеличение твердости покрытия из Аl_2O_3, нанесенного на наноструктурную пленку TiN, по сравнению с покрытием, осажденным на стальную подложку.