Импульсное лазерное осаждение наноструктурированныж композитных покрытий--I. Исследование структуры ж свойств

摘要

Исследованы структура и трибологических свойства наноразмерных многослойных MoSe_x/a-C покрытий с варьируемой толщиной слоев и композитных покрытий Mo-Se-C, полученных импульсным лазерным осаждением твердосмазочного (MoSe_2) и твердого (алмазоподобный углерод, a-C) компонентов на стальную подложку в инертном газе с применением противокапельной заслонки (экрана). Установлено, что уменьшение толщины слоев до 3 нм вызывает улучшение трибологических свойств многослойных покрытий. Наилучшими свойствами, превосходящими свойства тонкопленочных MoSe. покрытий, обладали композитные покрытия, осажденные при комнатной температуре на подложку при напряжении смещения -200 В.