ИЗУЧЕНИЕ ХИМИЧЕСКИХ СВЯЗЕЙ И ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА НЛЕНОК ОКСИКАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ МЕТОДАМИ РФЭ-, ИК- И РЕНТГЕНОВСКОЙ ЭНЕРГОДИСНЕРСИОННОЙ СНЕКТРОСКОНИИ

摘要

Проведено изучение элементного еоетава и химических свячей нанокомпо-зитных пленок гидрогеничированного оксикарбонитрида кремния, полученных высокочастотным плачмохимическим осаждением из исходных газовых смесей 1,1,3,3-тсграметилдисилазана с азотом и кислородом в температурной области 373 973 К, в зависимости от условий синтеза. Изучено влияние изменения температуры синтеза и химического состава исходных газовых смесей на элементный состав и типы химических связей пленок SiC_xN_yO_z:H.