RF弾性縦振動観測用光プローブシステム－Sagnac干渉計を利用した高速2次元レーザープローブの開発

摘要

本報告では、縦振動観測可能なレーザープローブの開発を目的とした。 Sagnac干渉計は縦振動を検出できるため、BAW素子の観測を行うことができる。 このSagnac干渉計を適用することで、2GHz帯までのSAW/BAWを、短時間で観測することに成功した。