超音波ダブルコアリングによる磁気ディスク用ガラス基板の加工

摘要

本研究では、ダイヤモンドダブルコアドリル（2重円筒のダイヤモンドコアドリル）を用いて、超音波振動を援用しながらガラスディスクの内径·外径を同時加工する方式を提案し、高品質な加工を実現することができた。