フラツトパネルデイスプレイ（FPD) 向けCVD装置の開発

摘要

次世代フラツトパネルデイスプレイにおける大型化や高精細化を実現するために、IGZO等を用いた酸 化物TFTへの期待が高まっている。当社では、第6世代基板（G6)以降の大型化を見据えて、独自の高密 度プラズマ技術を用いることで、酸化物TFTに求められる高品質絶縁膜を形成することができるCVD装置 の開発を行っている。