荏原、排水処理不要のPFCガス処理装置を量産--F固定式、半導体、液晶工場のCO_2対策に寄与

摘要

荏原製作所は、半導体や液晶が袖などの製造過程で排出されるPFCガスを、水を使わず分解、除去できるぎ固定式排ガス処理装置の開発、実証試験を終了し、量産を開始した。 電子部品製造におけるドライエッチげ工程などで使用されるPFC（パーフルオロコンパウンド）がは、携帯電話やパソコン、薄型テレビなどの生産拡大に伴い使用量ガ増加している。 PFCガスは地球温暖化への影響において温室効果がCO_2の約21倍と高く、電子部品メーカーはその削減に積極的に取り組hでいる。