大型化への対応!8世代以降を目指すスパツタリング装置の現状と課題

摘要

近年のTFT液晶技術の発展と液晶画面の大型化に伴い，短サイクルでの世代交代が進み，更なる基板の大型化が進hでいる。 また，同時に投資生産性の向上等のニーズも高まっている。 これに対して，アルバックは単に装置をスケールアップする方法は採らず，果敢に新規システムを構築し，タイムリーに市場投入し続けている。 本稿では，今日までの装置の概略と特長を述べ，今後の大型基板に対応した装置のコンセプトを紹介し，現状と課題について記載する（図1）。 アレイ側ではパーティクルが歩留まりに多大な悪影響を及ぼす事により，インライン式からクラスター式およびX式のスパッタリング装置を開発し市場に投入した。