コロナ放電型イオナイザ用直流高圧電源の簡易電圧制御法に関する研究

摘要

イオナイザ（ionker）の本来の意味は，イオン化装置であるが，発生したイオンによる中和作用（除電効果）を利用するため，静電気工学の分野では除電器（charge eliminating device）の同義語として用いられる場合が殆どである。本研究でも同様の意味で用いることとし，実験を通じてコロナ放電型イオナイザの問題点を検討する。コロナ放電型イオナイザは半導体の製造装置の生産ライン等に利用されているが，その構造上オゾンの発生，イオンバランスや除電時間の問題，電源の小型化の問題等改良の余地が多々あるといえる。この研究では，主として高周波交流式イオナイザのイオン電流の測定法および簡易型直流電源の構成法について検討を進める。