オージェ電子分光法を用いた表面汚染粒子分析とTOF－SIMSによる表面有機汚染評価

摘要

本稿ではウエハー上の粒子モニターとして有用なオージュ電子分光法をベーステクノロジーとしたSMARTシリーズの特徴とアプリケーション、及びウエハー表面の有機汚染·微量金属汚染評価に有用なTOF－SIMSの原理とアプリケーションを紹介した。 表面分析技術としてのオージェ電子分光法は、90年代に電界放射型電子銃と多チャンネル検出器の導入により空間分解能と検出感度が飛躍的に向上した。 今後は更なる空間分解能の向上と自動化により、より微細な粒子を自動分析できるようになれば、処理能力（スループット）が向上しインラインにおける観察ツールとしても価値が認められるであろう。 また、TOF－SIMSに関しては表面分析装置の中では最近発表された装置である。 その特徴は、H,Heを含む全元素の高感度分析が可能であり、空間分解能もサブミクロンを有し、絶縁物にも対応し有機構造解析等極めて情報量が多い点にある。一方データ解析の面ではコンピューターを用いたデータベースとの照合が必修であり、データ量がさらに増えれば極めて有用な装置に発展する。 今後半導体技術はより大きく進展すると思われ、より表面·界面特性に敏感なものへと変化することは間違いない。 そのような観点に於いて表面分析法は活躍の場が広がることが予想される。残念ながらこのような動きはアメリカで先行しており、多くの実績と共にすでに市民権を待つつある。日本の半導体産業においても、国際競争に勝ち抜く上で是非活用していただきたい。