小型で廉価な卓上型スパッタ装置--簡単·手軽に薄膜生成をスピーディーに！

摘要

IT産業をはじめとして薄膜を利用する分野は活況を呈しているが、薄膜生成装置は高価で大がかりな装置がほとhどである。簡単で手軽に薄膜を生成したいニーズも数多くあるが今まではこれらに適した装置がなかった。そのようなニーズに答えるためにマグネトロン方式の薄膜生成装置である「スパッタくh」を開発した。