気相合成法によるダイヤモンド大型単結晶の作製技術

摘要

本報では，ダイヤモンドの気相成長について簡単に説明した後，単結晶CVDダイヤモンド合成，特にホモエピタキシャル成長において，上述のような課題解決を解決するための高プラズマ密度化，窒素添加効果などについて述べる。