神戸製鋼所の真空成膜（PVD）技術と自動車部品への適用

摘要

AIP法は真空中のアーク放電を利用した成膜手法であり、カソード（ターゲット）を真空チャンバー内でアーク放電により溶解、蒸発させると同時に窒素、メタンなどのガスを投入して窒化物、炭化物等の高融点化合物膜を基材上に合成する。 TiN、（Ti、Al）NあるいはCrNが代表的な硬質化合物であり、高硬度で熱的に安定という特徴を有していることから切削工具向けの耐摩耗膜にも多く用いられている。